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桌面型勻膠機
產(chǎn)品型號：MSC-75T
產(chǎn)品品牌：APEX
產(chǎn)品類別：新設(shè)備
本公司自行研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)的桌面型勻膠機，采用目前知名的板材生產(chǎn)廠商，具有以下幾點特點： 1、主要用途：半導(dǎo)體工藝中充當旋轉(zhuǎn)涂布的角色 2、最高旋涂速度：10000RPM/S 3、液晶顯示觸摸屏 4、程控多段控制 5、均勻性方向面向科研及工業(yè) 在光刻工藝前，需要將光刻膠（一種光敏化學(xué)材料）均勻地涂在硅晶圓表面
本勻膠設(shè)備搭配真空可吸附吸盤，滿足10mm，20mm，2英寸晶圓的勻膠工藝，設(shè)備最高轉(zhuǎn)速可達10000RPM/S，在桌面勻膠均勻性上面搭配真空吸附功能和SUS 盆罩設(shè)計，極大的保障了在勻膠過程中高速旋轉(zhuǎn)帶來的安全隱患。 該設(shè)備多用于高校研究所實驗平臺居多，合作客戶有西安交通大學(xué)，武漢大學(xué)，華中科技大學(xué)，蘇州大學(xué)，南昌大學(xué)，合肥工業(yè)大學(xué)，四川大學(xué)等等高校
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