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RIE150-1反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：RIE150-1
產(chǎn)品品牌：APEX
產(chǎn)品類(lèi)別：反應(yīng)離子刻蝕
專為 6英寸（150mm）晶圓/基片設(shè)計(jì)的緊湊型干法刻蝕系統(tǒng)
刻蝕均勻性：≤±5%（6英寸圓片）；
刻蝕速率：0.1～4μm/min(視具體材料與工藝)；&a
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