桌面型顯影機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):MSD-200D
產(chǎn)品品牌:APEX
產(chǎn)品類別:新設(shè)備
專為8英寸(200mm)晶圓或基片設(shè)計(jì)的緊湊型桌面顯影設(shè)備,集成高精度噴淋、溫控及流程自動(dòng)化功能,滿足科研、小批量生產(chǎn)中對(duì)光刻膠顯影工藝的嚴(yán)苛要求,適用于半導(dǎo)體、光電子及MEMS等領(lǐng)域的精細(xì)制程
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