> 產(chǎn)品中心
曝光類型：?jiǎn)蚊?
曝光面積:110×110mm
曝光強(qiáng)度不均勻性：3%
曝光強(qiáng)度：≤30mw/cm2，可調(diào)范圍10%～100%；
紫外光中心波長(zhǎng)：365nm；
曝光分辨率：1μm；
套刻精度：1μm；
曝光方式：密著曝光，可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光；
找平方式：氣浮找平；
版權(quán)所有?愛(ài)佩克斯（北京）科技有限公司 電 話：13911322033
地 址：北京市豐臺(tái)區(qū)郭公莊中街20號(hào)院3號(hào)樓11層1103-A15