桌面型勻膠機
產(chǎn)品型號:MSC-150T-B
產(chǎn)品品牌:APEX
產(chǎn)品類別:新設(shè)備
一款結(jié)構(gòu)緊湊、操作便捷的高精度臺式勻膠設(shè)備,專為兼容處理6英寸 (150mm) 和 8英寸 (200mm) 晶圓、基片或其他平整樣品而設(shè)計。適用于科研實驗室、教學環(huán)境以及小規(guī)模生產(chǎn)中對光刻膠、功能涂層等溶液進行均勻旋涂的精密需求
適用基板尺寸: 8 寸以內(nèi)晶圓(內(nèi)腔尺寸 280mm)
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